Excimer SUE-Serie
Die Excimer-Module der SUE-Serie wurden speziell für die stationäre Behandlung von Substraten konzipiert. Sie eignen sich insbesondere für die Oberflächenreinigung und -aktivierung von Wafer-, Leiterplatten- und Glasoberflächen. Spezielle Einsatzgebiete finden sich in der Elektronik- und Halbleiterfertigung sowie in der Sensorproduktion.
Die Excimer-SUE-Serie ist in verschiedenen Standardgrößen erhältlich, die an gängige Materialabmessungen angepasst sind. Sie zeichnet sich durch eine sehr gute Homogenität über die gesamte Strahlungsfläche aus, ohne dass es zu einem Leistungsabfall an den Rändern kommt. Eine Quarzscheibe sorgt zudem für eine hochreine Umgebung.
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Features
- Different standard sizes from 150 mm to 300 mm
- Very good homogeneity over the entire radiation area
- Constant intensity mode for stable processes
- Quartz window for high purity environments
Technical data
- Wellenlänge (nm): 172
- Intensität (mW/cm²): 10 - 50
- Lebensdauer der Lampe (70 % in h): 1000
- Bestrahlungsgröße (mm): □ 150 - 300
- Homogenität (%):< ± 10
- Anzahl der Excimer-Strahler: 3 - 4
- Konstanter Intensitätsmodus: teilweise verfügbar
- Leistungsaufnahme: (W): 300 - 1200
- Stickstoffverbrauch (l/min): 20 – 50
Anwendungen
- Halbleiterindustrie
- Sensorindustrie
- Elektronikindustrie
- und viele mehr