UV-Kurzbogenlampen mit niedriger Leistung, in der Regel unter 1000 Watt, werden für Anwendungen eingesetzt, bei denen intensives Licht in kleinerem Maßstab benötigt wird:
Die Quecksilberlampen von Ushio sind für den Einsatz im ultravioletten oder blauen Bereich des Spektrums ausgelegt. Der Vorteil dieser Strahlungsquellen ist, dass ihr Strahl aufgrund des kurzen Bogens leicht optisch geformt werden kann. Quecksilber-Kurzbogenlampen sind die bevorzugte Wahl für Prüfgeräte in der Halbleiterindustrie.
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